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簡要描述:AST PJ 等離子體表面處理儀 可用于消除固體表面的有機污染物,如:金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等,同時也可以對樣品表面進行處理,改善樣品表面的特性,如親水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等
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AST PJ 等離子體表面處理儀
AST PJ 等離子體表面處理儀 可用于消除固體表面的有機污染物,如:金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等,同時也可以對樣品表面進行處理,改善樣品表面的特性,如親水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。
主要特點:
(1)采用電容耦合電極設(shè)計(US Patent. 4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511),低失真、高效率的特性,保證了樣品室內(nèi)等離子體分布的均一性;
(2)采用自動調(diào)頻高頻發(fā)生器,保證了等離子體發(fā)生的穩(wěn)定性和有效性;
(3)采用高精度的流速控制和壓力控制部件,保證了氣體的高重現(xiàn)性混合和分布;
(4)采用軟件控制,確??刂频姆奖阌行Ш蛯崟r監(jiān)控;
(5)一體化的高真空系統(tǒng),確保了操作的方便性和穩(wěn)定性;
(6)多種樣品室可供選擇,如耐熱玻璃和石英等,更能滿足廣大客戶的需求多;
(7)體積小,可遠程操作,多種安全保護,保證操作的安全和方便;
(8)樣品室和功率設(shè)計合理,可滿足絕大部分科研需要;
(9)全自動操作,方便可靠。
應(yīng)用領(lǐng)域:
(1)醫(yī)用材料的研究方面,主要是研究和生產(chǎn)企業(yè)
(2)電子領(lǐng)域,如電路板的生產(chǎn)
(3)生物芯片領(lǐng)域
(4)高分子材料研究單位,尤其是進行特殊處理的
(5)儀器的實驗室,作為清洗除污工具,保證儀器的正常使用
(6)光學(xué)材料單位
(7)電化學(xué)方面,進行表面處理的單位
(8)其他,主要進行表面處理的單位
技術(shù)參數(shù):
射頻功率:300W 13.56 MHz
交流電源匹配: 自動匹配
控制: 軟件控制
尺寸: 61 X 61 X 30 cm, 重量: 75 lbs
樣品室: 直徑20.3cm,深25.4cm
標準耐熱玻璃內(nèi)襯,可選石英內(nèi)襯
一種氣體供應(yīng)
氣體供應(yīng): 包括一個MFC
可選擇: 氧氣供應(yīng)泵
氣體過濾器
壓力計
截流閥
真空泵, 11 cfm, 115v, 15 amp
真空泵過濾系統(tǒng)
2nd MFC
計算機
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